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真空炉的真空度测量

作者: 发布时间:2019-05-09 浏览次数:800
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   真空测量是真空技术中的一个重要组成部分。用于测量真空度的仪器称为真空计。  真空热处理炉及真空熔炼炉常用的真空计有:热偶真空计电离真空计等。它们的工作原理如下:  

  (一)热偶真空计
   热偶真空计由敏感元件、热偶规管和测量仪器组成。热偶规管与被测真空系统相通,外壳为玻璃管,管内有加热丝
和热偶丝。热偶丝的冷端和热端温度不同时,由于温差效应,在回路中有热电势产生。如加热丝电压保持恒定,则热偶丝
的电势限决于加热丝的温度,而加热丝的温度与被测气体的压强有关。压强低,气体热导率小,被气体带走的热量少,加
热丝温度升高,热偶丝的热电势增大;反之,则热电势减少。回路中的热电势用毫伏表测量,表中的毫伏数即反映出真空
度的高低。为了保证加热丝的电压稳定,而接入了稳压电源。所以测量仪器是由测量热电势的毫伏表和规管加热丝稳压电
源两部分组成。
 (二)电离真空计
  这种真空计主要用于测量高真空度。在低压强气体中,气体分子被电离生成的正离子数与气体压强成正比按照离产生
的方法不同,利用热阴极发射电子使气体电离的真空计叫热阴极电离真空计;其中,热阴极电离真空计由热阴极规管和测
量仪器组成。测量仪器由规管工作电源、发射电流稳压器、离子流测量放大器等部分组成。热阴极电离规管与被测真空系
统相通。热阴极电离规管是一个三极管,管内有阴极、栅及和收集极。收集极电位相对于阴极电负电位;栅极相对于阴极
电正电位。当电离规管通电加热后,阴极发射电子,在电子到达栅极的过程中,与气体分子碰撞而产生正离子和电子的电
离现象。当发射电流一定时,正离子数日与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后,经测量电路放大,可由批示电
表读出所要测量的真空度。
  (三)复合真空计
  通常,对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成,而应采用复合真空计,应用较多的是电离与热偶式复合真
空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;电离真空计测量
133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管,分别接在真空系统上,通过旋
钮可分别给两个规管加热,并选择使用。

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